隨著新能源行業的發展，半導體器件在風力發電、電動汽車等新能源行業的應用中占據日益重要的地位。半導體器件的功率和頻率更高，集成規模也越來越大。與傳統的樹脂基片材料相比，氮化鋁（AlN）陶瓷材料具有較大溫度范圍內使用無異常、導熱系數高、硬度大、耐腐蝕等優點，是優質半導體器件的最佳材料。AlN陶瓷材料可應用到封裝體中以擴散熱量，降低器件的工作溫度，提高封裝體的使用性能和穩定性。AlN是一種具有六方纖鋅礦結構的III-V族強共價化合物，其結構單位為[AlN4]四面體，即晶包中每個Al原子被4個N原子包圍，其晶體結構如圖所示。

AlN熔點高，原子自擴散系數小，因此，純凈的AlN粉末在通常的燒結溫度下很難燒結致密，而致密度不高的材料很難具有高的熱導率。因此，要制備高熱導率的AlN陶瓷，在燒結工藝中，需要解決兩個問題：一是提高材料致密度，二是盡量避免氧原子熔入AlN晶格中。最常見的AlN粉體燒結方式是無壓燒結。它是指正常壓力下，具有一定形狀的陶瓷素坯在高溫下經過物理化學變化過程變為致密、堅硬、體積穩定的、具有一定性能的燒結體過程。因此，陶瓷材料的燒結工藝直接影響陶瓷產品的顯微結構，如晶粒尺寸與分布、氣孔率等參數進而影響陶瓷產品的使用性能。

隨著納米材料的興起，其較強的小尺寸效應、表面效應使得晶粒的表面能增加，燒結活性增強，從而可以顯著提高燒結速度，使微觀結構均勻一致，極大改善材料的性能。比如摻入微量的Y₂O₃，在燒結過程中，可以有效地降低納米粉體的晶粒尺寸，并能改善粉末的分散度，降低燒結溫度，提高燒結速度，還可實現材料的近全致密化。

鈦酸鍶（SrTiO₃）陶瓷介電損耗小，熱穩定性好，是一種優良的電子陶瓷材料，廣泛應用與高壓電容器、晶界層電容器、壓敏電阻、熱敏電阻等電子元件，具有高性能、高可靠性、體積小等優點。SrTiO₃電子陶瓷一般是以固相法合成，經燒結成型后所得，因此燒結工藝參數對陶瓷的顯微結構具有顯著影響，如燒結溫度對晶粒尺寸、相組成、氣孔的形貌和數量等，進一步影響材料的介電性能。過高的溫度使陶瓷晶粒過大、致密性差，還會促進二次結晶，材料的強度等性能降低，溫度較低則導致晶粒發育不完全。

參考文獻：